Sestava chemických boxů pro mokré procesy při zpracování polovodičů metodou optické litografie. Každý z boxů má specifickou funkci a uspořádání van, podle určení. Typicky jsou leptací vany provedeny z chemicky odolného PVDF s ručním plněním a mohou být vybaveny ohřevem, chlazením, ultrazvukem a agitací dusíkem. Oplachové vany jsou provedeny z PP. Zařízení je napojeno na rozvod dusíku, vakua a deionizované vody a na odtah vzduchu.
FAKTA A ZAJÍMAVOSTI
- Elektricky ovládané čelní kryty z průhledného PVC
- Různé sestavy van – leptací, oplachové, ultrazvukové, s ohřevem
- Jímání chemických odpadů do integrovaných sběrných nádob
- Nastavitelné technologické receptury
- Řízení boxů průmyslovým PLC přes dotykovou obrazovku HMI
