Sestava šesti identických chemických boxů pro leptání a mytí křemíkových desek o průměru 150 - 200 mm v laboratorních podmínkách. Vany pro chemické procesy jsou ovládány manuálně, teplota PVDF vany je regulovatelná. Oplachové vany jsou vybaveny automatickým quick dump...
Digestoř pro laboratorní účely a práci s anorganickými a organickými kyselinami. Vany pro chemické procesy jsou ovládány manuálně a jednotlivé odpadní chemikálie jsou sbírány do oddělených boxů. Digestoř je napojena na centrální rozvod dusíku, vakua a organický odpad...
Stroj je navržen jako jednoúčelové zařízení pro čisté prostory v polovodičovém průmyslu. Zajišťuje tryskové leptání, mytí a sušení okrajů křemíkových desek pro výkonové spínače. Zařízení je tvořeno dvěma komorami s řízeným prouděním vzdušniny v provedení...
Automatické zařízení slouží k leptání a čištění monokrystalických křemíkových ingotů pro výrobu polovodičů. Jednotlivé ingoty válcového tvaru jsou zakládány na vstupní dopravník v koši. Po uzavření krytu vstupního dopravníku probíhá pracovní cyklus automaticky....
Zařízení je chemický box k čištění a leptání desek monokrystalu křemíku v chemikálii SC-1 a kyselině fluorovodíkové HF. Obsluha zakládá koše s křemíkovými deskami o průměru 4 až 8“ do jednotlivých van. Po dosažení požadované doby leptání jsou desky manuálně přeloženy...
Zařízení slouží k uskladnění a automatickou distribuci hořlavé a potenciálně výbušné chemikálie EBR v provozu výroby polovodičů. Z velkokapacitních zásobníků ve venkovní stanici se přečerpává do distribuční jednotky uvnitř provozu a dále k zařízení. (Zařízení pracuje...
Zařízení je určeno pro leptání Si desek ve výrobě polovodičů. Je konstruováno jako samostatný chemický box. Leptání se provádí chemikáliemi na bázi kyseliny fluorovodíkové. Použité konstrukční materiály jsou chemicky odolné a splňují normu FM 4910 pro použití...
Zařízení je navrženo jako jednoúčelový automatický box pro leptání Si desek. Cyklus leptání a oplachování Si desek je zcela automatickýdle zvolených parametrů, obsluha provádí pouze doplňování vstupního materiálu, odebírání výrobků a volbu parametrů procesu. Box je...
Zařízení je sestava čtyř na sebe navazujících chemických sekcí propojených do výrobní linky. Linka umožňuje provádět automaticky komplexní chemickou proceduru na deskách křemíkového monokrystalu. Procedura se typicky skládá ze sekvencí leptání v chemických lázních a...
Zařízení je určeno pro ředění a distribuci chemikálie TMAH. Výsledná směs TMAH 2,38% je tvořena mícháním Tetramethylammonium hydroxidu (TMAH 25%) a deionizované vody (DI voda). Systém se skládá z vnitřní míchací smyčky a distribuce. (zařízení pracuje v ČR pro...
Reference na vyžádání
Zařízení je určeno pro leptání fasety polovodičových desek (do průměru 4“) směsí kyseliny dusičné, fluorovodíkové a octové. Desky jsou po procesu leptání oplachovány v trojité protiproudné kaskádě s demineralizovanou vodou a sušeny ofukem vzduchu pomocí plochých...
Zařízení slouží k automatickému řízenému ředění čpavku a deionizované vody. Výsledkem je čpavkový roztok s vodivostí v zadaných mezích. Takto vzniklý roztok je v zařízení skladován v tanku o objemu 200 litrů a dopravován do cirkulační smyčky, ze které si naředěnou...
Zařízení slouží jako laboratorní box pro práci s agresivními chemikáliemi. Hlavní částí je pracovní prostor s chemicky odolnou polypropylenovou pracovní deskou a s osvětlením. V pracovní desce jsou tři výlevky, každá je napojena na samostatný chemický odpad.. Na zadní...
Tmelicí zařízení je konstruováno jako jednoúčelové zařízení pro tmelení křemíkových monokrystalů k podložce pro následné zpracování v drátové řezačce. Výstupem tohoto zařízení je přitmelený monokrystal k nosiči pod zvolenými úhly ve dvou rovinách. Zařízení umožňuje...
Systém pro opracování a dopravu Si ingotů je komplexní zařízení pro očištění, temperaci a dopravu Si ingotů. Vstupní částí zařízení je překlápěčka, kde probíhá zabroušení hran a čištění ingotu. Překlápěcí systém umožňuje obsluze snadno manipulovat s Si ingotem. Po...
Zařízení je určeno ke sběru odpadních organických chemikálií, především rozpouštědel, nezpůsobujících korozi použitých materiálů v prostředí s nebezpečím výbuchu. Vyrobeno pro uložení dvou dvousetlitrových sudů. Pro snadnou výměnu jsou sudy uloženy na válečkových...
Zařízení je určeno k odmašťování a následnému sušení hliníkových fólií v polovodičovém průmyslu. Odmašťování probíhá v několika vanách, toluenu, lihu a acetonu s podporou ultrazvukového zářiče. Na konci procesu jsou fólie sušeny horkým dusíkem. Vzhledem k tomu, že...
Skříň VMB (Valve Manifold Box) slouží k rozdělování zvláště čistých chemikálií do zásobovacích větví k jednotlivým odběrným místům, např. linkám pro zpracování polovodičových materiálů (křemíkové desky, křemíkové krystaly apod.). V tomto případě je skříň koncovým...
Zařízení je určeno k mytí a sušení křemíkových desek do 8" po operaci lapování. Obsluha založí Si desky v zásobníku do manipulačního koše ve vstupní dvoupozicové vaně s vodou. Pomocí dvouosého manipulátoru je následně koš překládán dle zvolené receptury mezi dvěma...
Zařízení je určeno k leptání křemenných trubic kyselinou fluorovodíkovou a následnému mytí demi-vodou. Umožňuje zpracovávat trubice do průměru 300 mm a délce až do 2450 mm. Zařízení je vybaveno vnitřními sprchami. Pracovní prostor je odsávaný a je zakryt průhlednými...
Zařízení je určeno k mytí kanystrů a přepravních krabic od chemikálií ostřikováním DI vodou z vnitřní i vnější části. Zařízení slouží pro potřeby polovodičového průmyslu. Skelet zařízení je vyroben z bílého polypropylenu. (zařízení pracuje v Polsku pro dánského...
Zařízení je určeno pro práci v polovodičovém průmyslu. Box je celonerezový a slouží mytí Si desek s průměrem 8", najednou až se 7 zásobníky. Desky ve standardním plastovém zásobníku, uložené ručně do zakládací pozice postupně procházejí 5 ultrazvukovými procesními a...
Zařízení slouží k leptání okrajů křemíkových desek a následnému oplachu a sušení. Leptání i oplach jsou prováděny tryskami s nastavitelnou polohou a úhlem vůči desce. Po ručním založení a uzavření krytu jsou desky automaticky vystředěny na pracovním stolku a vakuově...
Zařízení je určeno pro práci v polovodičovém průmyslu k čištění a mytí Si trubic a jiných drobných dílů. Zajišťuje leptání trubic do průměru 300 mm a délce od 1450 do 2765 mm. Manipulátor zakládá trubici na otočné válce, následně systém v závislosti na vybrané...
Zařízení je určeno pro práci v čistých prostorech v polovodičovém průmyslu a slouží k hloubkovému leptání křemíkových desek. Zásobník s 25 křemíkovými deskami umísťuje obsluha do nakládací pozice manipulátoru nad sušicí vanou. Po nastavení předvolené procesní...
Zařízení slouží k automatickému dálkovému zásobování hořlavými a výbušnými chemikáliemi v polovodičovém průmyslu. Celonerezové provedení se systémem řízeného proplachu elektrické části inertním plynem. Chemikálie se čerpá z prvního 200 l sudu a po vyčerpání...
Zařízení je určeno pro práci v čistých prostorech v optoelektronickém průmyslu. Chemický box slouží pro mytí a leptání safírových desek s průměrem 2"- 8" ve vanách s chemickými roztoky. Technologický proces zpracování desek, uložených v PFA kazetách, probíhá v šesti...
Přípravek je určen pro vysunování pětic Si-desek průměru 6" (150 mm) ze standardního plastového zásobníku. Nastavovací "řadicí" pákou jsou zvedány desky po 5 kusech v sestavě "každá pátá". (zařízení pracuje v ČR pro zákazníka z USA)
Vozík slouží k přepravě až 8 ks křemíkových ingotů hmotnosti do 30 kg mezi jednotlivými výrobními pracovišti. Vozík je prachotěsný s možností proplachování nebo vytvoření přetlaku inertním plynem pro možnost průjezdu mimo čisté prostory. (zařízení pracuje v Polsku pro...
Zařízení slouží k automatickému dálkovému zásobování hořlavými a výbušnými chemikáliemi v polovodičovém průmyslu. Celonerezové provedení se systémem řízeného proplachu elektrické části inertním plynem. Chemikálie se čerpá z prvního 200 l sudu a po vyčerpání...
Zařízení je určeno pro automatizovanou distribuci zvláště čistých chemikálií v polovodičovém průmyslu, např. H2SO4, HF, HCl, NH4OH, H2O2, HNO3 apod. Elektrovybavení, software, pneuventily, distribuční ventily, konektory a přípojná místa chemikálií (vše v chemicky...
Zařízení je určeno k plně automatickému mytí křemíkových monokrystalů. Jeden až dva ingoty o celkové hmotnosti až 30 kg se ukládají do přepravních košů na vstupním dopravníku. Po navedení identifikačních údajů (čárového kódu) vsázky zaveze systém automaticky koše s...
Je prostorově úsporné zařízení pro mytí křemíkových desek. Skelet boxu je v provedení dle normy FM4910. Obsahuje leptací a oplachovou vanu, může mít jednu až tři zásobníkové pozice. Plně automatické zařízení, zajišťující manipulaci mezi procesní a oplachovou vanou a...
Automatické zařízení slouží jako zásobník a distribuční box pro tři různé druhy kyselin v polovodičové čistotě a demineralizovanou vodu. Každá z kyselin má v boxu svůj zásobník a zařízení je schopno distribuovat do připojeného potrubního vedení směs kyselin v poměru...
Zařízení je automatická zásobovací jednotka distribučního systému zvlášť čistých chemikálií, především pro polovodičový průmysl. Distribuční skříň je konstruována tak, že z obou bočních stran zařízení lze přistavit dva velkokapacitní tisíci-litrové zásobníky...
Zařízení slouží k přípravě, skladování a distribuci roztoku procesní vývojky. Je tvořeno sestavou tří samostatně stojících jednotek: distribuční skříní, externím stáním pro 200 litrový sud a velkokapacitní nádrží pro směs vývojky o objemu 1200 litrů. Dle nastavené...
Zařízení slouží k automatizovanému procesu leptání a čištění malých Si-desek pro účely výzkumných úkolů v různých procesních chemikáliích. Obsluha připraví náplně leptacích van a umístí koše s křemíkovými substráty o velikosti 2“ do pozic k vyzvednutí. Po spuštění...
Zařízení je automatická chemická linka určená do provozu výroby polovodičů a slouží k technologickému procesu leptání Si-desek směsí kyselin. Obsluha založí koš s křemíkovými substráty o velikosti 8“ do posuvu a zasune do linky. Po spuštění automatického procesu je...
Zařízení je robotizovaná pracovní stanice a slouží k odvrtávání vzorků z křemíkového ingotu. Vzorky jsou z ingotu vykružovány dutým vrtákem a mají válcový tvar. K vrtání slouží dvě autonomní vrtací jednotky, instalované svisle na rámu stanice. Nastavení polohy vrtání...