Zařízení slouží k přípravě, skladování a distribuci roztoku procesní vývojky. Je tvořeno sestavou tří samostatně stojících jednotek: distribuční skříní, externím stáním pro 200 litrový sud a velkokapacitní nádrží pro směs vývojky o objemu 1200 litrů. Dle nastavené...
polovodiče
Chemická linka pro leptání Si desek
Zařízení slouží k automatizovanému procesu leptání a čištění malých Si-desek pro účely výzkumných úkolů v různých procesních chemikáliích. Obsluha připraví náplně leptacích van a umístí koše s křemíkovými substráty o velikosti 2“ do pozic k vyzvednutí. Po spuštění...
Chemická leptací linka
Zařízení je automatická chemická linka určená do provozu výroby polovodičů a slouží k technologickému procesu leptání Si-desek směsí kyselin. Obsluha založí koš s křemíkovými substráty o velikosti 8“ do posuvu a zasune do linky. Po spuštění automatického procesu je...
Zařízení na vyvrtávání zárodků krystalů z Si ingotů
Zařízení je robotizovaná pracovní stanice a slouží k odvrtávání vzorků z křemíkového ingotu. Vzorky jsou z ingotu vykružovány dutým vrtákem a mají válcový tvar. K vrtání slouží dvě autonomní vrtací jednotky, instalované svisle na rámu stanice. Nastavení polohy vrtání...