Zařízení slouží jako zásobovací a distribuční jednotka chemikálie pro technologie ve výrobě polovodičů. Chemicky odolná skříň umožňuje uložení 60-litrového sudu se zásobou chemikálie, odkud může být čerpána jednotlivými výstupy do zvolených odběrných míst. Sud je uzavřen víkem s vestavěným ultrazvukovým měřením výšky hladiny a inertizací dusíkem N2 pro zabránění kontaminace chemikálie okolním prostředím.
- Skříň z chemicky odolného PVC, splňující standard FM4910
- Uvnitř uložený sud o objemu 60 l jako zásobník chemikálie
- Měření výšky hladiny v sudu ultrazvukovým čidlem
- Pneumaticky ovládané membránové čerpadlo
- Až 4 samostatně spínané výstupy chemikálie
- Řídící systém Unitronics s dotykovou obrazovkou
- Kompaktní rozměry skříně 640 x 600 x 1880 mm
