Chemická linka na čištění ingotů

46200

Automatické zařízení slouží k leptání a čištění monokrystalických křemíkových ingotů pro výrobu polovodičů. Jednotlivé ingoty válcového tvaru jsou zakládány na vstupní dopravník v koši. Po uzavření krytu vstupního dopravníku probíhá pracovní cyklus automaticky. Dvouosý manipulátor přemísťuje koš s ingotem postupně do procesních a oplachových van dle zvolené pracovní receptury. V zařízení jsou 4 vany umístěné ve dvou sekcích, které jsou navzájem odděleny automaticky uzavíranými přepážkami. Před dokončením pracovního cyklu jsou ingoty osušeny cirkulací teplého filtrovaného vzduchu v sušičce a odloženy na výstupní dopravník

(Zařízení je používáno v Dánsku dánským zákazníkem)