Polovodičový průmysl
Zařízení pro polovodičový průmysl |
 |
Vyrábíme jak kompletní zařízení, tak i speciální díly a součástky pro zabezpečení výroby polovodičů. Tato zařízení zabezpečují různé operace při výrobě polovodičových součástek, především leptání a mytí za definovaných podmínek a současně mohou být v zařízeních uplatněny operace jako cirkulace chemikálií, ohřev, chlazení, filtrace a automatická manipulace s leptanými díly. Naše automatická zařízení pracují ve velmi čistých prostředích a současně s vysoce čistými a zvlášť agresivními chemikáliemi. |
|
Ukázky realizace |
Zařízení pro leptání křemíkových desek v leptadlem v procesní vaně s průtokovým ohřevem na 60°C. Oplachová vana s rychlovypouštěním a sprchou desek. Provedení celého zařízení vyhovuje FM 4910, normě pro nehořlavost a neuvolňování škodlivin při požáru pro zařízení do čistých prostor. Box je vybaven oběhovou jednotkou, zabezpečuje práci v prostředí o třídě čistoty 1000 a má rozměry 1000 x 2400 x 1200 mm. (zařízení pracuje v Česku pro českého zákazníka) |
 |
 |
|
Zařízení na tmelení monokrystalů křemíku o průměru 100mm a 150mm. Umožňuje orientovat monokrystal otočením ve dvou osách s přesností několika úhlových minut. Po nastavení úhlů se monokrystal přitmelí k podložce. Takto natmelený krystal je připraven pro rozřezání na desky. (zařízení pracuje v Česku pro českého zákazníka) |
 |
|
|
| Pec pro sušení laku na křemíkových deskách. |
 |
|
|
Produkty:
Polovodičový průmysl | Čisté a agresivní prostory | Mokré chemické procesy | Křemenné sklo
Jednoúčelové stroje a zařízení | Učební pomůcky | Dopravníky
