Mokré a chemické procesy

Zařízení pro doplňování a dávkování chemikálií. Zařízení dopravuje kyselinu dusičnou a kyselinu fluorovodíkovou ze skladu chemikálií vzdáleného cca 10m. Tyto chemikálie pak automaticky dávkuje do výrobního procesu dle skutečně vypočítané potřeby. Provedení celého zařízení vyhovuje FM 4910, normě pro nehořlavost a neuvolňování škodlivin při požáru pro zařízení do čistých prostor.

Zařízení na leptání křemíkových desek ve třech procesních vanách a oplach ve dvou průtokových vanách s demi vodou. Procesní vany jsou vybaveny chlazením, jedna z nich i vyhříváním. Provedení celého zařízení vyhovuje FM 4910, normě pro nehořlavost a neuvolňování škodlivin při požáru pro zařízení do čistých prostor.

Zařízení na mytí a leptání skleněných dílů barevných obrazovek. Díly postupně procházení jednotlivými zónami zařízení dlouhého 8400mm. Zóny jsou odděleny automatickými dveřmi a probíhá v nich leptání v kyselině dusičné, leptání v kyselině fluorovodíkové a mytí vodou. Ve vnitřním pracovním prostoru nejsou žádné kovové části.

(zařízení pracuje v Thajsku pro japonského zákazníka)

Zařízení na mytí a leptání skleněných dílů barevných obrazovek. Díly postupně procházení jednotlivými zónami zařízení dlouhého 5400mm. V jednotlivých zónách probíhá leptání v kyselině dusičné, leptání v kyselině fluorovodíkové a mytí vodou. Ve vnitřním pracovním prostoru nejsou žádné kovové části. Zařízení automaticky odebírá skleněné díly z příčného dopravníku.

(zařízení pracuje v Česku pro holandského zákazníka)

Zařízení na odtmelování křemíkových desek po drátovém řezání. Odtmelování slouží k uvolnění jednotlivých desek. Zařízení má několik van. nejdříve se desky odtmelují v horké demineralizované vodě. Následně jsou ručním manipulátorem přeneseny do vany, kde jsou ostřikovány pohyblivými sprchami horkou demi vodou. Poté jsou ručně vkládány do plastových zásobníků.

(zařízení pracuje v Česku pro českého zákazníka)

Odpovlakovací zařízení slouží k odstranění napařených vrstev na nástroji pro napařování. Odstranění probíhá v chemikálii ohřáté na 78°C . Zařízení umožňuje pracovní chemikálii ohřívat a chladit. Prostor nad chemikálií je uzavřen víkem a je odsáván. Celonerezové zařízení má rozměry 1300 x 1100 x 1000 mm .

(zařízení pracuje ve Švýcarsku pro švýcarského zákazníka)

Chemický box pro mytí nerezových součástí organickými rozpouštědly.

Mycí linka pro pracoviště Epitax.

Zařízení pro přípravu křemíku před zpracováním, KOH, HNO3 + HF, demi voda, mechanizovaná manipulace.