CZ   EN   RU
Foto

41220_C13 Spin Etcher

Zařízení slouží k řízenému tvarovému oleptávání okrajů křemíkových desek sloužících k výrobě vysokovýkonných polovodičových spínacích jednotek. Zařízení pracuje ve velmi čistém prostoru polovodičové výroby.

Leptací komora je opatřena rotačním chuckem s vakuovým upínáním substrátu. Zde dochází k leptání okrajů polovodičové desky pomocí sady trysek. Zařízení je mimo jiné připojeno k centrálním rozvodům HF, HNO3 A CH3COOH. Linka je vybavena automatickým manipulátorem pro vložení, vyložení, změření průměru a centrování polovodičové desky - substrátu do leptací komory.

V zadní části zařízení jsou umístěny zásobníky chemikálií směsí leptacích kyselin, pneumaticky a ručně ovládané ventily pro finální míchání a dopravu chemikálií do leptací komory.

(zařízení pracuje ve Švýcarsku pro Švýcarského zákazníka)

KE STAŽENÍ:

PDF  41220_C13 Spin Etcher